MEMS实验室专利

一种高效制备硅转接板的方法，丁桂甫,张亚舟,孙云娜,汪红,吴凯峰,王慧颖,罗江波 CN201510423748.7 2015.7.17

本发明公开一种高效制备硅基转接板的方法，步骤：1)旋涂光刻胶、光刻、显影；2)刻蚀；3)氧化；4)溅射Ti/Cu等种子层；5)键合干膜光刻胶、光刻、显影；6)填充TSV；7)去胶、种子层，制备的Cu-TSV与Cu-Pad是无暇连接。本发明能以更高的效率、更低的成本制备硅基转接板，结合牢固，且制备工艺更为灵活。