MEMS微拉伸-汤俊（硕士在读）

【题目】基于MEMS的单轴微拉伸系统测试方法的研究及应用

【摘要】由于尺度效应和制备工艺对于MEMS微尺度结构材料的力学性能产生较大影响，因此需要搭建一台本实验室工艺条件下微米级材料力学特性测试平台。我们开发了一套单轴微拉伸测试系统，并成功实现控制自动化。同时通过ANSYS有限元模拟，得到易于系统夹持和对中的测试样品设计。采用UV-LIGA技术制备了两种工艺的测试样品。本系统已经基本稳定，因此研究了不同溶液体系下，电镀镍材料的力学特性。试验结果表明，不同溶液体系下，硫酸盐电镀液电镀出来的镍具有最高的抗拉强度和可延展性。其他三种电镀液制造的镍材料符合HALL-PETCH关系，晶粒尺度越小，抗拉强度越大，延展性越差。同时，我们对断口也进行了分析。