MEMS继电器-吴义伯（博士在读）

【题目】电热驱动的永磁双稳态MEMS继电器

【摘要】提出了一种基于电热电磁驱动的双稳态MEMS继电器，其工作机理是当在基于双层膜效应的电热驱动器两端通入一定脉冲电流时，双稳态十字形梁将会在电热驱动器作用下，在悬臂梁末端产生变形，导通外电路的同时使磁回路闭合，由于永磁体的作用保持电路闭合状态。若使电路断开，则在另外一端的电热驱动器通入另一脉冲电流，双稳态十字形梁的另外一端闭合电回路，实现同样的稳态功能。本报告首先分析了扭梁/悬臂梁双稳态机构的力学性能，然后对电热微驱动器的结构尺寸进行优化，提出了一种基于聚合物多层膜效应的电热微驱动器，对集成制造工艺进行了深入探索，成功制备出基于厚铜牺牲层技术的多元材料兼容的集成式永磁双稳态MEMS继电器。